第166章 周德明与陶安然 (第1/3页)
经开区。启棠科技碳化硅研发中心。
一楼的量产测试车间里，气氛比外面的三伏天还要焦灼。
三台改造好的华科外延炉呈“品”字形排列。
陶安然手里攥着一沓刚打印出来的测试报告，指关节因为用力而泛白。她今天没穿那件标志性的灰色卫衣，而是套着严严实实的无尘服，只露出一双布满血丝的眼睛。
“周总监！”陶安然的声音穿透了车间里真空泵的嗡嗡声，带着明显的怒意，“这三根晶棒的数据我看了。两根完美，一根在生长中段出现了微观应力裂纹。良率66%！”
她把报告重重地拍在不锈钢操作台上。
“我早说过，这台炉子的温控曲线在1850度到1900度这个区间，热场分布有0.2度的延迟！必须在生长中段动态调整氩气流量，才能释放热应力！你为什么把我的动态参数改成了恒定流量？！”
周德明站在操作台对面。
他没穿无尘服，只套了一件白大褂，里面还是那件洗得发白的旧夹克。这老头似乎对无尘车间的规矩有一种天然的蔑视，但偏偏他站的地方，连一粒灰尘都不敢落。
他拿起那份报告，连老花镜都没戴，眯着眼睛扫了一眼。
“陶工。”周德明的干巴巴的回道，像两块生锈的铁皮在摩擦，“你的动态参数，我看了。很精妙。在实验室里，你一个人盯着一台炉子，随时微调气阀，确实能长出完美的晶棒。”
他把报告扔回桌上，抬起头，那双浑浊眼睛直视着陶安然。
“但这里是量产线。”
周德明竖起一根粗糙的手指。
“十台炉子同时开，你指望车间里的操作工像你一样，凭感觉去微调每一台炉子的氩气流量？只要有一个工人的手抖了一下，或者反应慢了半秒，整炉的货就全废了！”
“量产，靠的不是天才的灵感，是傻瓜式的纪律！”周德明的声音在车间里回荡，“我把你的动态参数改成恒定流量，是为了把操作变量降到最低！66%的良率虽然难看，但它是可复制的！你的99%，在量产线上就是一颗定时炸弹！”
陶安然气结。
她在硅谷的时候，哪受过这种气？她设计的参数，从来都是被当成金科玉律供着的。
“你这是因噎废食！”陶安然毫不退让，“因为工人可能出错，就放弃最优的工艺路径？你这是在扼杀这台设备的潜力！你知不知道，如果按我的参数走，这根裂掉的晶棒能多切出多少片合格的晶圆？！”
“我只知道，按你的参数走，我没法写SOP（标准作业程序）！”周德明一巴掌拍在操作台上，“不能写进SOP的工艺，在量产线上就是垃圾！”
两人针锋相对，互不相让。
车间里的空气仿佛凝固了。几个新招的实验员缩在角落里，大气都不敢喘。这俩神仙打架，谁敢上去劝？
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