第一卷 第287章 因为她看见了 (第2/3页)
啪!
U盘被她狠狠插进主控机接口。
【叮!】
【跨时代光学微调算法已接入。】
【平台微调开关,已同步解锁。】
主控屏幕黑了一瞬。
下一秒。
无数复杂到令人头皮发麻的矩阵,像雪崩一样铺满整个电子大屏。
一行。
十行。
百行!
绿色字符疯狂滚动,速度快到所有人眼球发酸。
“这是什么算法……”
一名院士级专家下意识往前走了半步,眼神都直了。
没人回答他。
因为下一秒。
大屏幕上的偏折角修正值开始疯狂回落。
0.017。
0.011。
0.006!
原本那道出现弧度的极紫外光束,在镜组画面中,像是被一只无形的大手硬生生掰直了。
“回来了!”
光路监测员猛地扑到屏幕前,声音都破了。
“主光束重回中轴线!”
“二号镜、三号镜反射面全部归正!”
“焦点开始锁定!”
程美丽站在主控台前,十指压上工业键盘。
哒哒哒!
她没有停。
U盘算法在跑。
她自己的手也在跑。
一串又一串的微调指令,被她直接灌进镜组平台底层。
“一号镜,左偏补偿0.003。”
“三号镜,抬高。”
“五号镜,锁死。”
“看掩膜版。”
她声音不大。
却像一把冰冷的锤子,砸进每个人耳朵里。
操作员猛地回神,扑向副屏。
画面切换。
那道被强行归正的极紫外光束,穿透复杂到令人窒息的镜头群,最终精准轰击在掩膜版之上。
嗤!
一声极轻的灼响。
光,咬住了。
“聚焦成功!”
“主焦点锁定成功!”
会场里先是一静。
紧接着。
轰!
整个主控区像炸了一样。
“成了!”
“真的聚住了!”
“曝光!快上曝光程序!”
程美丽一掌拍下执行键。
啪!
晶圆工件台开始高速平移。
涂满极紫外光刻胶的八英寸晶圆,在真空吸附台上稳稳前送。
那束杀穿所有封锁的极紫外光,透过掩膜版,在晶圆表面留下一道又一道肉眼不可见的微观刻痕。
全场没人再说话。
只剩设备运转的低沉轰鸣。
还有众人压得发疼的呼吸。
三分钟后。
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